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辅助设备 Facility
科研设备 R&D Equipment
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AE WB1000 超净工作台
AE WB1000 Clean Workbench超净工作台是种通用型局部净化设备，可提供局部百级洁净工作环境
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AE CN1000 氮气存储柜
AE CN1000 N2 storage cabinet氮气存储柜是将高纯氮气充入柜内形成微正压，提供干燥无氧的洁净存储空间
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AE CG1000气路柜
AE CG1000 Gas storage cabinet通过集中存储各工艺气体钢瓶，来控制管理各工艺气体气路系统,为工艺设备提供配套
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AE FP8000 微控四探针测试仪
AE FP8000 Micro-control four-point prober通过四探针测试硅单晶的体电阻率，渗杂半导体以及金属薄层电阻
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