辅助设备 Facility
平板显示 FPD

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可应用于平板显示行业的热能回收系统TRU,针对设备生产过程中产生的热废气进行回收后再利用,用来加热冷空气,减小用电量,实现节能减排。
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GTC精密恒温恒湿机用于平板显示、半导体制造等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。