产品&服务
Products & services
- 等离子刻蚀设备 Etcher
- 集成电路 IC
- 先进封装 Advanced Packaging
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 分析仪器 Analysis Instrument
- 功率器件 Power Devices
- 光通信器件 Optical Information Devices
- 物理气相沉积设备 PVD
- 集成电路 IC
- 先进封装 Advanced Packaging
- 科研设备 R&D Equipment
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 功率器件 Power Devices
- 化学气相沉积设备 CVD
- 集成电路 IC
- 光伏电池 Photovoltaic
- 先进封装 Advanced Packaging
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 功率器件 Power Devices
- 氧化扩散设备 Oxide/Diff
- 集成电路 IC
- 光伏电池 Photovoltaic
- 先进封装 Advanced Packaging
- 微机电系统 MEMS
- 功率器件 Power Devices
- 清洗设备 Cleaning Tool
- 集成电路 IC
- 光伏电池 Photovoltaic
- 先进封装 Advanced Packaging
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 功率器件 Power Devices
- 平板显示 FPD
- 紫外固化设备 UV Cure
- 平板显示 FPD
- 移载传送设备 Indexer
- 光伏电池 Photovoltaic
- 平板显示 FPD
- 辅助设备 Facility
- 集成电路 IC
- 光伏电池 Photovoltaic
- 先进封装 Advanced Packaging
- 科研设备 R&D Equipment
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 功率器件 Power Devices
- 节能环保 Energy Saving
- 平板显示 FPD
- 气体测量控制 Gas Measuring Control
- 集成电路 IC
- 光伏电池 Photovoltaic
- 先进封装 Advanced Packaging
- 科研设备 R&D Equipment
- 微机电系统 MEMS
- 真空镀膜 Vacuum Coating
- 半导体照明 LED
- 分析仪器 Analysis Instrument
- 功率器件 Power Devices
- 节能环保 Energy Saving
- 平板显示 FPD
- 光通信器件 Optical Information Devices
- 燃料电池 FC
- 备品备件 Parts
- 备品备件 Parts
- 备品备件 Parts
- 原子层沉积设备ALD
- 集成电路 IC
- 先进封装 Advanced Packaging
- 微机电系统 MEMS
- 半导体照明 LED
- 功率器件 Power Devices
- 客户服务 Services
- 客户服务 Services
气体测量控制 Gas Measuring Control
质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)属于一种工业自动化仪表，可以应用到对各种气体（含蒸汽）进行测量或控制，目前常用的有量热式、角动量式、振动陀螺式、马格努斯效应式和科里奥利力式等质量流量计，NAURA研制生产的是量热式质量流量计，质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量，质量流量控制器(MFC)除测量外还可以精密控制气体的质量流量。MFM/MFC具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点，MFM/MFC可以在真空或高压气路中工作。它被广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、电力等行业。
光伏电池 Photovoltaic
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CS100 系列 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS100 Series Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow ControllerCS100系列产品采用客户定制化设计并独创零点补偿功能，更好的适应客户环境。
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CS200 系列 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS200 Series Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow ControllerCS200系列是可满足半导体、光伏、真空镀膜高端客户的数字式流量测控产品。
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