采用微制造技术，集微型机构、传感器、实行器等于一体的MEMS器件，其小体积、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向，也是物联网的核心。在万物互联时代高速成长的大趋势下，其发展会受到来自智能硬件、智能汽车、智能工厂等领域的强大助力，并将向环境监测、医疗保健等领域不断扩展，具有十分广阔的前景。在MEMS领域，NAURA深硅刻蚀设备已批量销往多家科研机构及生产线，并获得了广泛的认可与好评；卧式LPCVD已成功应用于半导体级碳纳米管生长;并成功研发先进氮化铝薄膜沉积设备及工艺解决方案。