半导体装备 Semiconductor

WS-PE100/150

倒片机

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WS-PE100/150 倒片机
WS-PE100/150 Wafer Sorter
WS-PE100/150 倒片机中包含1台6轴机械手组件,设备前端设有6个Loadport工位,每3个对应1个腔室。设有2个Buffer工位,每个Buffer上可以放19片Wafer对应1个腔室中的4寸Wafer,2个冷却工位分别对应左右2个腔室。
设备特点
  • 晶圆全自动取放
  • 人工替代,良好控制颗粒
  • 高精度、高柔性六轴机械手,更稳定、更可靠
  • 半导体级非接触式伯努利吸盘,吸附均匀,低破率、更安全
  • 稼动率高,有效节约客户成本
产品应用
  • 晶圆尺寸
    4、6 英寸
  • 划伤率
    ≤0.03%
  • 通讯响应时间
    <0.5 秒
  • 装卸响应时间
    ≤12 秒
  • 适用领域
    半导体照明
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