真空装备 Vacuum Tech

CWP1200/1800

卧式连续型PVD镀膜设备

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CWP1200/1800 卧式连续型PVD镀膜设备
CWP1200/1800 Horizontal in-line PVD Coater
CWP系列产品阴极均水平安装,产品装夹在载板上从阴极处连续通过。设备由多组模块化真空腔室组成,腔室内可配置平面阴极或移动平面阴极、旋转阴极、线性离子源等功能部件,可对工件表面进行离子清洗和刻蚀,实现金属、金属化合物等各类材料的真空沉积。
设备特点
  • 腔室设计模块化,便于产能拓展
  • 设备内多重洁净防护,维护更换便捷
  • 设备性能可靠稳定,已在客户处实现多年稳定运行
  • 可实现气氛隔离,兼容金属溅射和化合物反应溅射
  • 可选自动化翻面配套,实现工件双面镀膜
技术指标
  • 基材尺寸
    有效宽度1100/1500/1950/ 2200mm
  • 膜厚均匀性
    ±5%
  • 靶材利用率
    平面阴极:≥30%,动平面阴极:≥60%,旋转阴极:≥80%;
  • 走速范围
    30-1000mm/min
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