半导体装备 Semiconductor

PC100

压力控制器

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PC100 压力控制器
PC100 Pressure Controller
PC100-D型压力控制器是七星流量计研制的数字型压力控制产品。该型产品可同时支撑数字信号和0~5V模拟信号,可以使用单电源(+15~+24 VDC)供电。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集App提供便利。
设备特点
  • 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的压力传感技术
  • 基于AI的压力控制技术
  • 全金属耐腐蚀技术
  • 高准确度及高可靠性
产品应用
  • 压力类型
    绝压
  • 控制压力的满量程
    1000Torr、1200mbar
  • 阀口满量程流量
    2、3、5SLM
  • 压力控制精度
    ±1.0% of Reading (≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS)
  • 响应时间
    < 1.0 S
  • 机械接口
    双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头
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