DS300 压力式质量流量控制器
DS300 Pressure Mass Flow Controller
- 设备特点
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- 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的压力传感技术
- 基于AI的压力控制技术
- 全金属耐腐蚀技术
- 高准确度及高可靠性
- 产品应用
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- 流量规格(N?)(0～30,50,100,200,300,500) ? SCCM (0～1,2,3,5,10) ?SLM
- 准确度±1% S.P. (≥10% F.S.)?，±1% F.S.?(＜10% F.S.)??????
- 重复精度±0.2% F.S.
- 响应时间≤?0.5sec???????????
- 工作压力0.45MPa
